发明名称 METHOD FOR CUTTING HIGH-HARDNESS MATERIAL BY MULTI-WIRE SAW
摘要 고경도 재료의 멀티 와이어 쏘에 의한 절단 방법은, 양단을 갖는 본체 부분(10a)과, 상기 본체 부분의 양단 중 한쪽에만 위치하는 저품질 결정 부분(10e)을 갖는 적어도 1개의 잉곳을 준비하는 공정 (A); 상기 적어도 1개의 잉곳을 고정용 베이스에 고정하는 공정 (B); 쏘 와이어가 상기 적어도 1개의 잉곳의 저품질 결정 부분(10e)과는 접촉하지 않고, 본체 부분(10a)에 접촉하도록, 상기 적어도 1개의 잉곳을 상기 쏘 와이어에 대해 상대적으로 이동시킴으로써 상기 잉곳을 슬라이스하는 공정 (C);를 포함한다.
申请公布号 KR20150052037(A) 申请公布日期 2015.05.13
申请号 KR20157005062 申请日期 2013.08.30
申请人 HITACHI METALS, LTD. 发明人 KONDO SADAHIKO;MIYACHI AKIRA;HATANAKA TOSHIHIKO
分类号 H01L21/78;B28D5/04;H01L23/00 主分类号 H01L21/78
代理机构 代理人
主权项
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