激光加工装置

摘要

为了将焦距自动调整装置设为单纯的结构来得到廉价的激光加工装置，具备：加工透镜（3），使激光（2）聚光到加工对象（9）；焦距调整单元（4）、（6），调整加工透镜（3）的焦距；接触式的温度传感器（5），具有从加工透镜（3）的激光（2）的入射侧的中心沿着径向在一个直线上设置于不被照射激光（2）的透镜表面、且距加工透镜（3）的中心的距离不同的第1以及第2温度测定点，用第1以及第2温度测定点检测温度差；以及控制装置（7）、（8），根据与由温度传感器（5）检测出的温度差对应的电位差计算加工透镜的热透镜的大小，根据所计算出的热透镜的大小，以使聚光到加工对象的激光的束径成为恒定的方式计算焦距校正量，对焦距调整单元（6）输出控制信号。

主权项

一种激光加工装置，具备：激光光源；透明部件，设置于从所述激光光源射出的激光的光路中，使所述激光透射；接触型的温度差传感器，设置于不被激光照射的所述透明部件的表面，检测从所述透明部件的中心起第1距离处的所述透明部件的表面与比所述第1距离远的第2距离处的所述透明部件的表面之间的温度差；以及控制单元，根据由所述温度差传感器检测出的温度差，进行焦点位置的校正以使聚光到被加工物上的所述激光的束径成为恒定。