用于辐射基片的装置

摘要

用于辐射基片的已知的装置具有壳体以及在壳体内部具有用于有待辐射的基片的带有圆形辐射面的容纳部以及用于产生光辐射的具有布置在平行于辐射面延伸的弯曲平面中的带有辐射管端部的第一辐射管的第一辐射器，其中容纳部和第一辐射器可以相对于彼此运动。在该装置中，所述辐射面包括半圆形的第一部分面和半圆形的第二部分面。为了由此出发说明一种用于辐射基片的装置，该装置实现了基片的旋转对称均匀的温度分布并且还需要极少的结构以及控制技术的花费，按本发明提出，所述第一辐射管具有弯曲的照射长度段，该照射长度段在弯曲平面内以镜像对称的椭圆形的基本形状延伸，其中，第一照射长度段基本上配属于所述半圆形的部分面之一。

主权项

用于辐射基片（103；210）的装置（100；200），具有壳体（101）以及在壳体（101）内部具有用于有待辐射的基片（103；210）的具有圆形的辐射面（104；202）的容纳部（102）、用于产生光辐射的第一辐射器（105；300；400），所述辐射面包括半圆形的第一部分面（104a；203）和半圆形的第二部分面（104b；204），所述第一辐射器具有布置在平行于所述辐射面（104）延伸的弯曲平面（201）中的、带有辐射管端部的第一辐射管（106；301；401），通过该辐射管端部引导供电装置（109a、109b），其中，所述容纳部（102）以及第一辐射器（105；300；400）能够相对于彼此运动，其特征在于，所述第一辐射管（106；301；401）具有弯曲的照射长度段，所述照射长度段在所述弯曲平面（201）中以镜像对称的椭圆形的基本形状延伸，其中，该第一照射长度段配属于所述半圆形的部分面（104a；104b）之一。