散射光测量装置

摘要

一种散射光测量装置，具有光学测量装置(1)和散射光测量探头(101)，其中，光学测量装置(1)具有：光源(10)，其射出至少包含测量对象波长的光；光检测器(12)，其检测由散射光测量探头(101)接收到的光；分支部(11)，其将来自光源(10)的光引导至散射光测量探头(101)，并且将来自散射光测量探头(101)的光引导至光检测器(12)；以及控制部(13)，其基于由光检测器(12)检测出的光来评价被检查物的表层的散射特性，该散射光测量探头(101)具有光纤(102)，该光纤(102)在一端与光学测量装置(1)进行连接，传播来自光源的光并对被检查物进行照射，并且在另一端与被检查物接触，接收照射到被检查物的光在被检查物的内部进行传播并返回来的光，将该光作为光信号而向光检测器(12)引导，光纤(102)传播光，具有大致棒状的芯部(1020)，该芯部(1020)具有根据被检查物的检测深度来确定的直径。

主权项

一种散射光测量装置，具备：光学测量装置，其将光输出和被输入光，并且进行所输入的光的测量；以及散射光测量探头，其向被检查物照射来自该光学测量装置的光，并且接收来自该被检查物的光并向上述光学测量装置输出，该散射光测量装置的特征在于，上述光学测量装置具有：光源，其射出至少包含测量对象波长的光的光；光检测器，其检测由上述散射光测量探头接收到的光；分支部，其将来自上述光源的光引导至上述散射光测量探头，并且将来自上述散射光测量探头的光引导至上述光检测器；以及控制部，其基于由上述光检测器检测出的光来评价上述被检查物的表层的散射特性，上述散射光测量探头具有光纤，该光纤在一端与上述光学测量装置进行连接，传播来自上述光源的光并向上述被检查物进行照射，并且在另一端与上述被检查物接触，接收照射到该被检查物的光在上述被检查物的内部进行传播并返回来的光，将该光作为光信号而引导至上述光检测器，上述光纤传播光，具有大致棒状的芯部，该芯部具有根据上述被检查物的检测深度来确定的直径。