柔性、可拉伸、可变形曲面光刻模板与光刻方法和装置

摘要

本发明涉及纳米加工领域，为实现(1)该系统可以实现在具有复杂曲面的基底上进行光刻；(2)该光刻系统使用一个模板，可以实现具有相似图形的光刻，这些图形差别在于周期或者间距不同，本发明：柔性、可拉伸、可变形的曲面光刻模板与光刻方法，制作可拉伸的柔性光刻掩模板；制作柔性紫外发光二极管LED面板作为曝光用的光源；将柔性可拉伸的模板在可控应力的作用下紧密附着在涂有光刻胶的基底上；将柔性LED面板紧密附着在柔性模板上；按照适当的剂量和相应的曝光时间，打开LED，对光刻胶进行曝光；取下柔性LED面板；取下掩模板；本次曝光完成；接下来可进行显影和后续加工工艺。本发明主要应用于开关电容积分器的设计制造。

主权项

一种柔性、可拉伸、可变形的曲面光刻模板与光刻方法，其特征是，制作可拉伸的柔性光刻掩模板；制作柔性紫外发光二极管LED面板作为曝光用的光源；将柔性可拉伸的模板在可控应力的作用下紧密附着在涂有光刻胶的基底上；将柔性LED面板紧密附着在柔性模板上；按照适当的剂量和相应的曝光时间，打开LED，对光刻胶进行曝光；取下柔性LED面板；取下掩模板；本次曝光完成；接下来可进行显影和后续加工工艺；掩模板和柔性LED面板能够多次使用。