Vorrichtung und Verfahren zur Untersuchung eines oder mehrerer Phasenobjekte

摘要

Ein Verfahren zur Untersuchung eines oder mehrerer Phasenobjekte wird beschrieben, bei dem ein Gitter aus Elementen verwendet wird, das mit Licht einer Lichtquelle beleuchtet wird, dessen Kohärenzlänge größer als der mittlere Abstand benachbarter Elemente des Gitters ist. Ein Beugungsbild des an dem Gitter gestreuten Beleuchtungslichts wird erzeugt, wobei das eine oder die mehreren Phasenobjekte im Lichtweg zwischen der Lichtquelle und dem Gitter und/oder im Lichtweg des an dem Gitter gestreuten Beleuchtungslichts platziert sind. Zumindest ein Teil des Beugungsbildes wird direkt oder nach Wechselwirkung mit weiteren optischen Komponenten von einem optischen Detektor detektiert und in ein Signal umgewandelt. Das Signal wird weiter analysiert, um daraus Informationen bezüglich des einen oder der mehreren Phasenobjekte zu ermitteln. Eine entsprechende Vorrichtung wird ebenfalls beschrieben.