Stützvorrichtung und Verfahren zum Abstützen eines mit Bauelementen zu bestückenden Substrates und Bestückungsautomat

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Stützvorrichtung sowie ein Verfahren zum Abstützen wenigstens eines Bereiches eines mit Bauelementen zu bestückenden Substrates zumindest während eines Bestückungsprozesses, wobei ein innerhalb eines Fluidraumes eines Grundkörpers beweglich angeordnetes Kolbenelement zumindest abschnittsweise durch eine Öffnung in einer Wandung des Fluidraumes hindurchführbar ist, und ein wenigstens bereichsweise innerhalb des Fluidraumes befindliches magnetisches Fluid mittels eines Magneten magnetisch beeinflusst wird. Ferner betrifft die Erfindung einen Bestückungsautomaten zum Bestücken eines mit Bauelementen zu bestückenden Substrates mit einer Stützvorrichtung zum Abstützen des Substrates zumindest während eines Bestückungsprozesses.