一种采用平面螺旋线圈的电感耦合等离子体装置

摘要

本实用新型公开了一种采用平面螺旋线圈的电感耦合等离子体放电装置，该放电装置主要应用于微电子芯片制造或薄膜化学气相沉积系统。该装置包括：真空室、进气与排气系统、工作台、电感线圈、射频电源及匹配箱。其特征在于：电感线圈内置于真空室，位于工作台下方；电感线圈由外径为8mm的紫铜管绕制2周形成平面螺旋结构，其直径为150mm。铜管内不加装绝缘套管，直接通水冷却，线圈热量传递效率高；铜管表面采用玻璃纤维丝密集缠绕形成厚度为2mm的包覆层，抑制离子对电极的轰击。本实用新型涉及的电感耦合等离子体放电装置结构简单，成本低廉，可在低气压下实现高密度等离子体放电，稳定性和均匀性好，在大面积均匀电子薄膜沉积及等离子体干法刻蚀等领域有广泛应用价值。

主权项

一种采用平面螺旋线圈的电感耦合等离子体放电装置，放电线圈内置于真空室中与等离子体直接接触，其特征是：电感线圈采用平面螺旋结构，其表面包覆介质层。