一种层界面结构可控的CuNb/Cu纳米合金薄膜制备方法

摘要

本发明公开了一种层界面结构可控的CuNb/Cu纳米合金薄膜制备方法，该方法在磁控溅射镀膜过程中，采用直流电源和射频电源共溅射的方法制备CuNb合金膜，在镀制过程中，保持镀Cu溅射功率不变，通过控制镀Nb的功率控制合金成分及微结构，在不同的合金中，保持镀Cu层时的功率不变，此时Cu层的结构将由CuNb合金层的结构所主导，最终得到CuNb/Cu纳米合金薄膜。本发明制备的薄膜结构致密，可以很容易通过控制溅射功率来控制层界面结构和晶界结构，从而为制备力学性能可控的纳米合金材料提供可能。同时，该方法操作简单，成本较低，易于在工业上实现和推广。

主权项

一种层界面结构可控的CuNb/Cu纳米合金薄膜制备方法，其特征在于，在磁控溅射镀膜过程中，采用直流电源和射频电源共溅射的方法制备CuNb合金膜，在镀制过程中，保持镀Cu溅射功率不变，通过控制镀Nb的功率控制合金成分及微结构，在不同的合金中，保持镀Cu层时的功率不变，此时Cu层的结构将由CuNb合金层的结构所主导，最终得到CuNb/Cu纳米合金薄膜。