| 摘要 |
L'invention a pour objet un dispositif MEMS/NEMS à réponse fréquentielle ajustable comportant un ensemble de résonateurs à actionnement électrostatique, un circuit d'actionnement électrostatique desdits résonateurs, des moyens de détection électrique, et des moyens pour ajuster la réponse en fréquence de l'ensemble desdits résonateurs caractérisé en ce que :
- ledit dispositif comporte au moins un réseau de n résonateurs présentant une partie mobile, lesdits n résonateurs étant reliés électriquement en série entre un premier potentiel de polarisation V B et un deuxième potentiel de polarisation V B2 , chaque ième résonateur étant polarisé à un potentiel Vi compris entre ledit potentiel V B et ledit potentiel V B2 , suivant sa position dans la série ;
- ledit circuit d'actionnement électrostatique desdits résonateurs comportant pour chaque résonateur une électrode d'actionnement en regard de ladite partie mobile du résonateur, l'ensemble desdites électrodes d'actionnement étant reliées en parallèle à un potentiel de commande commun V IN , la tension d'actionnement de chaque ième résonateur étant égale à V IN - Vi ;
- lesdits moyens de détection comprenant une sortie de détection commune auxdits n résonateurs reliée à un potentiel de sortie V out ;
- lesdits moyens pour ajuster la réponse en fréquence, faisant varier ledit potentiel de commande commun et/ou au moins l'un des potentiels de polarisation. |
