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发明名称
摘要
申请公布号
JPS4939389(A)
申请公布日期
1974.04.12
申请号
JP19720080716
申请日期
1972.08.14
申请人
发明人
分类号
H01L21/3205;H01L21/28;H01L29/43
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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