发明名称
摘要
申请公布号 JPS4939389(A) 申请公布日期 1974.04.12
申请号 JP19720080716 申请日期 1972.08.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L29/43 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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