| 摘要 |
<p>Teilchenenergieanpassvorrichtung (1) zur variablen Veränderung der Energie der Teilchen eines durch die Teilchenenergieanpassvorrichtung (1) hindurch tretenden und in allen drei Raumdimensionen gescannten Teilchenstrahls (2, 10), aufweisend zumindest eine variable Energievariationseinrichtung (8), gekennzeichnet durch zumindest eine Stellwertkorrektureinrichtung (7) zur Korrektur eines der Teilchenenergieanpassvorrichtung (1) zugeführten Stellwerts (11), wobei die Stellwertkorrektureinrichtung (7) derart ausgebildet und eingerichtet ist, dass die der Teilchenenergieanpassvorrichtung (1) zugeführten Stellwerte (11) zumindest zeitweise und/oder zumindest teilweise unter Verwendung von Kalibrationsdaten (15) korrigiert werden, wobei die Kalibrationsdaten zumindest bereichsweise über eine Fläche hinweg ermittelt wurden, so dass Messpunkte eines Punktrasters der Fläche angefahren werden, wenn die laterale Lage des Teilchenstrahls in zwei Dimensionen verändert wird.</p> |
