| 摘要 |
플라스마 챔버 내에서 기판을 처리하기 위한 시스템에서는, 모든 기판의 운반 및 로딩/언로딩 동작이 대기 환경에서 수행되지만, 처리는 진공 환경에서 수행된다. 기판은 캐리어 상에서 시스템 전반에 걸쳐서 운반된다. 시스템의 챔버는 선형으로 배열되어, 캐리어가 하나의 챔버로부터 다음 챔버로 직접 이동한다. 시스템의 챔버 위 또는 아래에 배치된 컨베이어는 처리가 완료된 후에 캐리어를 시스템의 입구측 영역으로 복귀시킨다. 기판의 로딩 및 언로딩은 시스템의 일측면에서 수행될 수 있거나, 로딩은 입구측에서 언로딩은 출구측에서 행해질 수 있다. |
