摘要 |
본 발명은, 기체 공급 장치로부터 기체의 공급을 받는 통상의 주배관과 상기 주배관에 접속되어 있는 분기 배관을 구비하여 구성되는 산기 장치로서, 상기 분기 배관은, 그 일단이 상기 주배관에 접속되고, 타단이 개구되어 있음과 함께, 상기 분기 배관에는 1 또는 복수의 산기공이 형성되어 이루어지고, 상기 주배관을 수평으로 배치한 상태로, 상기 복수의 산기공 중 적어도 일부는 연직 방향 상방에 형성되며, 또한 상기 분기 배관은 상기 타단의 개구가 연직 방향 하방을 향하도록 구성되어 있는 산기 장치에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 산기관 내에 피처리수를 유입시킴으로써, 산기공의 폐색을 억제하고, 분기 배관 내의 퇴적물을 용이하게 제거할 수 있는 산기 장치와 이것을 이용한 산기 방법, 및 수처리 장치를 제공할 수 있다. |