| 摘要 |
<p>静電噴霧法を用いて有機薄膜を成膜する静電スプレー装置において、成膜する膜の均一性の保持と下地層との層混合の抑制とを図りつつ、生産性を向上する。静電スプレー装置１は、有機材料からなる帯電微粒子１３が分散したエアロゾル１２を生成するエアロゾル生成手段と、エアロゾル生成手段により生成したエアロゾルを貯留するチャンバー１０と、一端部がチャンバーに接続された搬送路２０と、搬送路の他端部に設けられたノズル３０と、キャリアガスを送出し、チャンバーから搬送路を経てノズルにエアロゾルを搬送する搬送手段と、基材２を支持し、帯電微粒子の電位との間に電位差をもって基材を保持する支持手段とを備えて構成される。</p> |
