处理装置之动作监视系统

主权项

一种处理装置之动作监视系统，系具备有：为了在对于处理对象物而施加特定之处理的处理室内而形成特定之处理环境所设置的可动构件、和对各可动构件之动作作控制之控制手段，该动作监视系统，其特征为，具备有：振动检测手段，系检测出伴随于前述可动构件之动作所产生的振动之波形，并构成为：当为了使前述可动构件之任一者动作而进行有从控制手段而来之控制的情况时，系取得对应于前述控制之事件资料、和藉由前述振动检测手段所检测到之于该时所动作的所有可动构件之振动的波形，仅当与前述事件资料相对应之任一之可动构件动作时，对前述波形之变化作监视，若是该当波形系作了超过特定之范围的变化，则判断为处理装置之异常。