在电浆处理系统中决定清洗或调整处理端点的方法

主权项

一种藉由量测一层的厚度以决定一电浆腔室清洗程序的一端点之方法，该层系藉由一先前程序而沉积于一电浆处理腔室中之一表面上，该方法包含以下的步骤：提供一与该电浆处理腔室之一腔室壁表面共平面之感测器，其中该感测器系被设定用来量测该厚度；将该电浆处理腔室暴露至一电浆，其中该厚度会因该暴露而被改变；相对该感测器之一浮动电压使该感测器被负偏压；决定该感测器之一引发偏压作为时间的函数；以及藉由确定在该引发偏压中的一稳定状态情况而决定该电浆腔室清洗程序的该端点，该稳定状态情况的特征为该引发偏压的实质地稳定量测值，并基于该稳定状态情况的一开始而决定该电浆腔室清洗程序的该端点。