| 摘要 |
センサ素子の汚損を低減した熱式流量計を提供すること。基板に形成されたダイアフラム上に薄膜部を設け、前記薄膜部に形成された発熱抵抗体を備えたセンサ素子と、前記センサ素子が設置される支持部材と、前記支持部材の一部が配置され、吸気管路を流れる吸気の一部を取り込む副通路と、を有し、前記副通路内を流れる空気流に沿い前記薄膜部上を通る直線をＬとしたとき、前記Ｌ上の前記支持部材または前記センサ素子に設けられ、前記支持部材または前記センサ素子の表面に沿って空気流とともに飛来する微粒子を前記Ｌから遠ざける方向へ向かわせるガイド部材と、を備えた。 |
