| 摘要 |
電子部品素子において発熱した熱の放熱効果を向上させ、圧電基板に作用する収縮応力を緩和することにより、電子部品素子の特性が変化することを防止した電子部品素子を提供する。この発明にかかる電子部品素子は、圧電基板１２を含む。圧電基板１２の一方主面１２ａ上には櫛歯電極２０が形成される。櫛歯電極の周囲には支持層１４が形成される。支持層１４と櫛歯電極２０とを覆うようにカバー層１６が配置される。カバー層１６を貫通し、櫛歯電極にビアホール電極１８ａ，１８ｂが接続される。カバー層１４における櫛歯電極２０と対向する主面とは反対側の主面に凹凸部３０が形成される。 |
