光阻预烤炉加热器区域结构

主权项

一种光阻预烤炉加热器区域结构，其主要系由腔体、加热器、热板及温度感应器所组成，该腔体为一容槽状，位于腔体底部之支撑底板向上依序设有加热器及热板，使加热器能对热板进行加热，顶端面则利用上盖板将其封闭而成一加热空间，至于温度感应器系放置在加热器内或热板上，其特征在于：该加热器系以复数个设置在热板下方，并于热板的四个端边区设置4组加热器，其端边区最少需大于100mm2以上，剩余的加热区域则再划分成5大区域，分别为上端区、下端区、左端区、右端区及中央区，位于上端区、下端区、左端区及右端区及中央区的下方皆设置独立的加热器，使得热板依加热器之数量投影以形成复数个加热区域，且每一加热区域皆为独立的温度控制。