以光纤作为空间滤波器与扩束器之雷射干涉微影设备

主权项

一种雷射干涉微影设备，包含：一雷射光源，提供一第一雷射光束；一光学元件组合，光学耦接至该雷射光源，接收并处理该第一雷射光束以提供一道或多道第二雷射光束；一曝光载台，用于承载一待曝物；以及一光纤组，接收该一道或多道第二雷射光束并将该一道或多道第二雷射光束处理成一道或多道不具有空间杂讯的单一模态的稳定同调第三雷射光束，该光纤组的一工作波长范围涵盖该第二雷射光束的一波长，利用该一道或多道第三雷射光束于该待曝物上产生一干涉图案，其中该光学元件组合提供该一道第二雷射光束，该光纤组包含单一光纤，并输出该一道第三雷射光束，该光纤组的一第一端光学耦接至该光学元件组合，且该雷射干涉微影设备更包含一固持器，耦接至该光纤组的一第二端，其中该曝光载台承载一反射镜，该第三雷射光束的一第一部分照射该反射镜并由该反射镜反射至该待曝物，该第三雷射光束的一第二部分与该第三雷射光束的第一部分于该待曝物上产生该干涉图案。