透明導電膜形成用ガラス基板、および透明導電膜付き基板

摘要

ガラス基板に酸化スズ膜を成膜してなる透明導電膜付き基板において、高い移動度を有する低抵抗の酸化スズ膜を有する透明導電膜付き基板の提供。下記組成のガラス基板上に、酸化スズ膜を有することを特徴とする透明導電膜付き基板。酸化物基準の質量％表示で、ＳｉＯ2５５〜７２、Ａｌ2Ｏ3５〜１８、ＭｇＯ ２〜８、ＣａＯ ０〜８、ＳｒＯ ０〜８、ＢａＯ ０〜１０、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋Ｂａ ３．５〜２７、Ｎａ2Ｏ ０〜１５、Ｋ2Ｏ ０〜１２、ＺｒＯ2０〜５、ＴｉＯ2０〜５、からなり、Ｂ2Ｏ3を実質的に含有しない。