水酸化ガリウムの製造方法、酸化ガリウム粉末の製造方法、酸化ガリウム粉末、該酸化ガリウムの焼結体及び該焼結体からなるスパッタリングターゲット

摘要

液体の金属ガリウムをアノードとし、硝酸アンモニウム水溶液中で電解することにより水酸化ガリウムを晶出させることを特徴とする水酸化ガリウムの製造方法。水酸化ガリウムを乾燥及び焙焼して酸化ガリウム粉末とすることを特徴とする酸化ガリウム粉末の製造方法。製造が容易であり、低コストで製造できる水酸化ガリウム、酸化ガリウム粉末及び該粉末から製造された焼結体並びにスパッタリングターゲットに関し、ターゲットの製造工程において割れや焼結不良の発生がなく、高密度のターゲットの製造に適用できる技術を提供する。