| 主权项 |
一种基板处理装置，包含分别载置有基板且运送编号已决定之模组群，于模组群中包含由运送编号相同并对基板进行同一处理之3个以上模组所构成之多重模组，藉由运送机构自一模组取出基板，接收下一模组之基板再将先前的基板传递至该下一模组，如此将载置于各模组之基板移送至后一编号的模组藉此实行一运送循环，在实行该一运送循环后，转移至下一运送循环，藉由依序实行各运送循环而依序自该模组群中编号小的模组起朝编号大的模组运送基板，以进行既定处理，于通常时，对于该多重模组之各模组，自该模组前的模组以一定顺序将基板分配给该各模组，于构成该多重模组之复数模组已决定好送入基板之编号，于将基板送入编号最后的模组后，将基板送入编号最前的模组，该基板处理装置之特征在于包含：记忆部，记忆有：将编号分配给基板，使基板编号与各模组相对应，将指定运送循环之运送循环资料依时间顺序排列而制作成之运送时程表；及控制部，参照该运送时程表控制该运送机构，俾将写入于运送循环资料之基板运送至对应的该基板之模组，藉此实行运送循环；且该控制部控制该运送机构，俾于自构成该多重模组之模组中，至少一模组无法使用且其他模组可使用之状态起，无法使用的模组已恢复至可使用状态时，将自该多重模组的前一模组送出之基板，送入到后述的模组，亦即：在构成多重模组之模组群中，相对于该基板送出时最接近的时机已送入基板之模组，依该基板之送入顺序的次一模组。
|
