发明名称 多羟基化合物及含该化合物之化学放大型阻剂组成物
摘要
申请公布号 TWI483923 申请公布日期 2015.05.11
申请号 TW098105388 申请日期 2009.02.20
申请人 住友化学股份有限公司 发明人 武元一树;安藤信雄
分类号 C07C309/11;C07C309/12;C07C381/12;G03F7/039;C07D311/64;C07D311/78;C07C39/15 主分类号 C07C309/11
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼
主权项 一种式(I)表示之多羟基化合物: 式中,R51、R52、R53、R54、R55、R56、R57、R58、R59、R60、R61、R62、R63、R64、R65、R66及R67各自独立地表示氢原子或C1-C4烷基,选自R1、R2、R3、R4及R5所组成群组之至少一者为式(II)表示之基团:式中,Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基,U表示其中至少一个亚甲基可由-O-、-S-、-NH-、-CO-、-CO-O-或-NR-(式中,R表示烷基)置换之C1-C20二价烃基,且A+表示有机相对离子,以及其余者为氢原子或式(III)表示之基团:式中,X1、X2、X3及X4各自独立地表示氢原子或C1-C4烷基,n表示0至3之整数,W表示下列基团中之任一者: -CO-O-,,,,,Z1表示C1-C6烷基或C3-C12环烷基,惟当W不为-CO-O-时,Z1可为氢原子,且环Y表示C3-C20脂环族烃基。
地址 日本