发明名称 素子構造体及び素子構造体の製造方法
摘要 【課題】酸素、水分等から素子を保護し、素子の劣化等を抑制することが可能な素子構造体及び素子構造体の製造方法を提供する。【解決手段】素子構造体1は、基板2と、デバイス層3と、第1の保護層4と、第2の保護層5と、封止層6とを具備する。デバイス層3は、基板2上の第1の領域11に形成される。第1の保護層4は、デバイス層3の周囲に形成される第1の周縁部4Aを有し、デバイス層3を被覆して第1の領域11を含む基板2上の第2の領域12に形成され、無機物からなる。第2の保護層5は、第2の領域12に対応する第1の保護層4上の第3の領域13に形成され、有機物からなる。封止層6は、第1の周縁部4Aと第2の保護層5との周囲に形成される第2の周縁部6Aを有し、第2の保護層5を被覆して第2の領域12を含む基板2上の第4の領域14に形成され、無機物からなる。【選択図】図1
申请公布号 JPWO2013111218(A1) 申请公布日期 2015.05.11
申请号 JP20130555006 申请日期 2012.10.30
申请人 株式会社アルバック 发明人 加藤 裕子;岡 正;矢島 貴浩;内田 一也;大森 大輔
分类号 H05B33/04;H01L51/50;H05B33/10 主分类号 H05B33/04
代理机构 代理人
主权项
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