| 摘要 |
本発明は、透明フィルム基材の少なくとも一方の面に、透明電極層を有する透明電極付き基板に関する。透明フィルム基材は、透明電極層側の表面に酸化物を主成分とする透明誘電体層を有する。一実施形態において、透明電極層は結晶化度が８０％以上の結晶質透明電極層である。当該実施形態では、結晶質透明電極層は、抵抗率が３．５?１０−４&OHgr;・ｃｍ以下、膜厚が１５ｎｍ〜４０ｎｍ、酸化インジウムの含有量が８７．５％〜９５．５％、キャリア密度が４?１０２０／ｃｍ３〜９?１０２０／ｃｍ３であり、かつ透明電極付き基板は、熱機械分析により測定される熱収縮開始温度が７５℃〜１２０℃であることが好ましい。 |
