发明名称 種結晶保持体および結晶成長装置
摘要 <p>本発明の種結晶保持体は、溶液法による結晶成長に用いられる種結晶保持体であって、炭化珪素からなる種結晶と、該種結晶の上に位置する保持部材と、前記種結晶と前記保持部材とを固定した接着材と、該接着材によって厚み方向に挟持された、平面視において前記種結晶の外縁よりも小さい外縁を有する、炭素からなるシート部材とを有する。</p>
申请公布号 JPWO2013115272(A1) 申请公布日期 2015.05.11
申请号 JP20130529477 申请日期 2013.01.30
申请人 发明人
分类号 C30B29/36;C30B15/32 主分类号 C30B29/36
代理机构 代理人
主权项
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