基板处理系统与基板传送方法

主权项

一种基板处理系统，系包含：一传送室，系具有用以双向传送一基板之至少一个双向基板传送装置；以及复数个处理室，系用以施加一半导体制造制程至该基板，其中复数个处理室系沿相互面对的两排线性排列，并且该传送室系介于两排处理室之间，其中，该至少一个双向基板传送装置包含：一移动单元，系配设于该传送室之内部，并水平地移动；以及一双向基板传送单元，系配设于该移动单元之上，透过可双向滑动地配设的第一及第二双向滑动叉的双向滑动，该双向基板传送单元系用以将该基板传送至该处理室，其中该第一双向滑动叉可滑动至彼此相反的第一或第二水平方向，以及该第二双向滑动叉可滑动至彼此相反的该第一或第二水平方向。