| 主权项 |
一种工件载台，系用于涂布系统，该工件载台包括：底座(2)；轴(1)，固定或安装于该底座(2)中；复数个圆盘(7)，彼此沿该轴(1)相随着，及相对于该底座(2)可旋转，且设有分布于每一圆盘(7)之圆周上之复数个向外倾斜远离该轴(1)之用于工件(13)之夹持具(8)，其特征在于，该工件载台具有包覆，该包覆环绕该轴(1)及该等圆盘(7)，及未覆盖多数组分布于圆周上并藉腹板分隔之开口，属于该等圆盘(7)之该等夹持具(8)透过该等开口突出，且其由沿该轴(1)相随并直接彼此相邻之复数个环(5)构成，且其抵接于界线(17)，该等界线(17)均分割一组相邻开口间之腹板之一。
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