| 摘要 |
例えばＥＵＶ光を用いる露光装置に適用されたときに、装置のフットプリントを小さく抑えることのできる反射結像光学系。照明光学系からの光で照明された第１面に配置されるパターンの像を第２面に結像する反射結像光学系は、第１面で反射された光を、第１番目に反射する第１反射鏡と、第２番目に反射する第２反射鏡とを含む複数の反射鏡を備えている。照明光学系からの光が第１面に照射する領域を被照射領域とし、第１面上において被照射領域が位置する部分を、複数の反射鏡の光軸よりも所定の方向側であるとするとき、第１反射鏡の反射領域および第２反射鏡の反射領域は、複数の反射鏡の光軸よりも所定の方向側に位置し、照明光学系からの光の光路を挟むように、第１反射鏡および第２反射鏡が配置される。 |
