| 主权项 |
一种光阻材料，其特征系包含：藉由酸使硷溶解性提高之成为基础树脂之高分子化合物，与作为高分子添加剂之将来自于从苊烯、茚、苯并呋喃、苯并噻吩中选出之1者以上之单体之重复单元与具有至少1个氟原子之重复单元共聚合而得之高分子化合物；该作为高分子添加剂之高分子化合物系以下列通式(1)表示；
式中，R1、R2为氢原子、碳数1~4之直链状或分支状之烷基、烷氧基、醯氧基、羟基、羧基、烷氧羰基、或-OC(=O)R基，R为碳数1~6之直链状或分支状之烷基或氟化烷基；R3、R6表示氢原子或甲基；X2为单键、-O-、-C(=O)-O-R8-或-C(=O)-NH-R8-，R8为单键、或碳数1~4之直链状或分支状之伸烷基，也可具有酯基或醚基；n为1或2，当n=1时，X1为单键、-O-、-C(=O)-O-R8-、或-C(=O)-NH-R8-，R8为单键、或碳数1~4之直链状或分支状之伸烷基，也可经氟原子取代，也可具有酯基或醚基；当n=2时，X1为-C(=O)-O-R9=或-C(=O)-NH-R9=，R9系由碳数1~10之直链状、分支状或环状之伸烷基脱去1个氢原子而得之3价基，也可经氟原子取代，也可具有酯基或醚基；R4为碳数1~12之直链状、分支状或环状之伸烷基、伸苯基、或该伸烷基与伸苯基键结而得之基，也可经氟原子取代，也可具有酯基或醚基；R5为氢原子、氟原子、甲基、三氟甲基或二氟甲基，或亦可与R4键结而形成环，亦可于环之中具有醚基、经氟取代之伸烷基或三氟甲基；R7为碳数1~20之直链状、分支状或环状之烷基，且系经至少1个氟原子取代，也可具有醚基、酯基或磺醯胺基；M为亚甲基、氧原子或硫原子；系0≦(p-1)<1.0、0≦(p-2)<1.0、0<(p-1)+(p-2)<1.0、0≦(q-1)<1.0、0≦(q-2)<1.0、0<(q-1)+(q-2)<1.0、0.5≦(p-1)+(p-2)+(q-1)+(q-2)≦1.0。 |
