静电夹盘之测试系统及方法

主权项

一种静电夹盘之测试方法，该静电夹盘具有一前表面及一后表面且包含至少一电极，该方法包含：在一频带范围内建立该静电夹盘之参数之预定可接受界限；及在该后表面与该至少一电极之其中一者之间量测该频带范围内的该静电夹盘之该参数。