| 摘要 |
微細凹凸構造体（１０）は、エッチング層（１１）と、前記エッチング層（１１）上に設けられたドライエッチング用熱反応型レジスト材料で構成されたレジスト層（１２）と、を具備し、前記レジスト層（１２）に形成された開口部（１２ａ）に対応する凹凸構造がエッチング層（１１）に形成され、凹凸構造の微細パターンのパターンピッチＰが１ｎｍ以上１０μｍ以下であり、微細パターンのパターン深さＨが１ｎｍ以上１０μｍ以下であり、且つ、微細パターンのパターン断面形状が、台形又は三角形或いはそれらが混在している。ドライエッチング用熱反応型レジスト材料は、Ｃｕ、Ｎｂ、Ｓｎ及びＭｎ、それらの酸化物及び窒化物並びにＮｉＢｉからなる群から選択された少なくとも１種を主たる構成元素とする。 |
