超音波振動子アレイ、超音波振動子アレイの製造方法、及び超音波内視鏡

摘要

本実施形態の超音波振動子アレイ４０は、基板４１と、基板４１の一方の面に所定間隔で配置された溝状の複数の凹部４１Ａと、基板４１の前記一方の面側において、前記凹部４１Ａ同士の間に配置されたセル領域３１と、基板４１およびセル領域３１を覆う、前記基板４１よりも脆性の低い可撓性膜４２と、前記凹部４１Ａの幅よりも狭い幅を有し、前記基板４１の他方の面から前記凹部４１Ａ内の可撓性膜４２に到達する分割溝２８と、を有する。