发明名称 浸没透镜支持装置
摘要
申请公布号 TWI484238 申请公布日期 2015.05.11
申请号 TW099118009 申请日期 2010.06.03
申请人 滨松赫德尼古斯股份有限公司 发明人 荒田育男;寺田浩敏;石塚利道
分类号 G02B7/02 主分类号 G02B7/02
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种浸没透镜支持装置,其特征在于:其系于物镜与观察对象之试样之间于垂直于上述物镜之光轴的方向可移动地支持浸没透镜者;其包括:浸没透镜;透镜固持器,其系包括下部开口及上部开口,并将上述浸没透镜于透镜下表面通过上述下部开口向下方突出之状态下以自由而不固定之状态加以保持者;及透镜盖,其包括盖下表面,并相对于上述透镜固持器之上述上部开口而以覆盖上述上部开口之方式设置,且位于上述浸没透镜之上方,而于与上述透镜固持器所夹着之空间内保持上述浸没透镜,并且成为上述浸没透镜侧之平面状的上述盖下表面系位于垂直于光轴之平面上,与上述浸没透镜之球面状之透镜上表面以一点接触;且于上述透镜盖中设有定位部,其可参照经由上述物镜而观察到之上述透镜盖之像,进行上述浸没透镜相对于上述物镜之定位。
地址 日本