単結晶シリコン引き上げ用シリカ容器及びその製造方法

摘要

本発明は、直胴部、湾曲部、及び底部を有する単結晶シリコン引き上げ用シリカ容器であって、前記直胴部のＯＨ基濃度が３０〜３００ｍａｓｓｐｐｍであり、前記底部のＯＨ基濃度が３０ｍａｓｓｐｐｍ以下であり、前記直胴部と前記底部のＯＨ基濃度差が３０ｍａｓｓｐｐｍ以上であることを特徴とする単結晶シリコン引き上げ用シリカ容器である。これにより、引き上げた単結晶シリコン中のボイドやピンホールと呼ばれる空洞欠陥を低減することができる低コストの単結晶シリコン引き上げ用シリカ容器が提供される。