| 摘要 |
静電気が繰り返し加わり、放電が繰り返された場合であっても、ＥＳＤ保護特性の劣化を抑制することができる、ＥＳＤ保護装置を提供する。絶縁性基板２の第１，第２の絶縁体層２ａ，２ｂ間に空洞３が設けられており、第１，第２の放電電極４，５が第１の絶縁体層２ａ上に形成されておりかつ空洞３内において第１，第２の放電電極４，５がギャップＧを介して対向しており、第１，第２の放電電極４，５に電気的に接続される第１，第２の外部電極１２，１３が絶縁性基板２の外表面に形成されており、第２の絶縁体層２ｂと、第１，第２の放電電極４，５及び第１の絶縁体層２ａとの各接合界面を含む各平面内に位置している空洞３の周縁部３Ｘにおいて、凹部３ａ，３ｂが設けられている、ＥＳＤ保護装置１。 |
