探针卡、检查装置及检查方法

主权项

一种探针卡，系为对具有复数个元件的晶圆进行检查，包含：基板；第一探针群组，具有排列于该基板之复数个第一探针；以及第二探针群组，具有复数个第二探针，该复数个第二探针的前端位置比该第一探针的前端位置设置更为位于该基板侧，在该基板的俯视图中，该第二探针群组系以夹隔该第一探针群组而间隔配置；其中该第二探针群组在夹隔该第一探针群组的第一方向中愈是前进至该基板的边缘，在与该第一方向为正交之第二方向处，该第二探针群组的布局系为愈大。