发明名称 双扩散金属氧化物半导体元件及其制造方法
摘要
申请公布号 TWI484631 申请公布日期 2015.05.11
申请号 TW101129133 申请日期 2012.08.13
申请人 立錡科技股份有限公司 发明人 黄宗义;邱建维
分类号 H01L29/772;H01L21/336 主分类号 H01L29/772
代理机构 代理人 任秀妍 新竹市光复路2段481号9楼
主权项 一种双扩散金属氧化物半导体(double diffused metal oxide semiconductor,DMOS)元件,包含:一P型基板,该基板具有一上表面;一N型高压井区,形成于该上表面下之该基板中;一P型深埋区,形成于该高压井区下方之该基板中,与该基板直接连接,并与该高压井区间之距离不小于一预设间距;一场氧化区,形成于该上表面上,由上视图视之,该场氧化区位于该高压井区中;一P型本体区,形成于该上表面下该基板中;一闸极,形成于该上表面上,且部分闸极位于该场氧化区上;以及N型源极、与N型汲极,分别形成于该闸极两侧该上表面下方,且由上视图视之,该汲极与该源极由该闸极与该场氧化区隔开,其中该汲极形成于该高压井区中,且该源极位于该本体区中;其中,当该DMOS元件不导通时,一第一空乏区形成于该深埋区与该高压井区之间,且一第二空乏区形成于该高压井区中,其中该第一空乏区与该第二空乏区连接;其中,该深埋区介于该源极与该汲极之间。
地址 新竹县竹北市台元街20号5楼