主权项 |
一种双扩散金属氧化物半导体(double diffused metal oxide semiconductor,DMOS)元件,包含:一P型基板,该基板具有一上表面;一N型高压井区,形成于该上表面下之该基板中;一P型深埋区,形成于该高压井区下方之该基板中,与该基板直接连接,并与该高压井区间之距离不小于一预设间距;一场氧化区,形成于该上表面上,由上视图视之,该场氧化区位于该高压井区中;一P型本体区,形成于该上表面下该基板中;一闸极,形成于该上表面上,且部分闸极位于该场氧化区上;以及N型源极、与N型汲极,分别形成于该闸极两侧该上表面下方,且由上视图视之,该汲极与该源极由该闸极与该场氧化区隔开,其中该汲极形成于该高压井区中,且该源极位于该本体区中;其中,当该DMOS元件不导通时,一第一空乏区形成于该深埋区与该高压井区之间,且一第二空乏区形成于该高压井区中,其中该第一空乏区与该第二空乏区连接;其中,该深埋区介于该源极与该汲极之间。
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