| 主权项 |
一种大气等离子体设备，包括：振荡器，用于产生电磁波；和波导，从所述振荡器产生的电磁波被输入到所述波导中以经由所述波导传播，其中所述波导包括至少一个或多个阶梯，并且在包括末端矮部的波导区域产生等离子体，其中所述波导的至少一个阶梯通过其高度以预定角度连续降低的锥形结构来实现，且所述波导具有双锥形结构，并且其中所述锥形波导包括：具有预定高度的第一高部；与所述第一高部的端部连接且其高度以预定角度降低的第一锥形部；与所述第一锥形部的端部连接的第二高部；与所述第二高部的端部连接的第二锥形部；和与所述第二锥形部的端部连接的矮部。
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