パッシベーション膜付半導体基板及びその製造方法、並びに太陽電池素子及びその製造方法

摘要

本発明は、半導体基板上に電極を形成する工程と、前記半導体基板の前記電極が形成される面上に、有機アルミニウム化合物を含む半導体基板パッシベーション膜形成用組成物を付与して組成物層を形成する工程と、前記組成物層を加熱処理して、パッシベーション膜を形成する工程とを有するパッシベーション膜付き半導体基板の製造方法を提供する。