| 摘要 |
基部と、基部に固定された第１の支持部と、第１の支持部に固定された梁部と、梁部に固定された錘部と、梁部の上に設けられた駆動部と、基部の主面上を移動可能な調整用磁石とを備えている。さらに、錘部は、磁石または磁性体で形成され、梁部は、前記基部の主面に沿う方向に延在している。この構成により、製造プロセスのばらつきにより生じた共振周波数のずれを、容易に調整することができる。発電素子の製造プロセスのばらつきにより所望の共振周波数からずれた場合であっても、容易に調整可能であり、最大の効率を得ることができる。 |
