| 摘要 |
本発明は、スペックルノイズが生じないライン光を被計測物に照射することにより計測精度を向上させるとともに、スペックルノイズを除去するための画像処理を不要として検査の処理速度を向上させるものであり、複数のＬＥＤ２１が直線状に配列されたＬＥＤ配列基板２と、複数のＬＥＤ２１の配列方向Ｐに沿って形成された第１のスリット３Ｓを有する第１のスリット部材３と、複数のＬＥＤ２１の配列方向Ｐに直交する方向Ｑに沿って延びる複数のシリンドリカルレンズ４１を前記複数のＬＥＤ２１の配列方向Ｐに並べて構成されるレンチキュラーレンズ４と、複数のＬＥＤ２１の配列方向Ｐに沿って形成された第２のスリット５Ｓを有する第２のスリット部材５と、これらを収容してライン光を一端から射出する筐体７とを備える。 |
