| 摘要 |
<p>【課題】発光輝度がより均一な有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する装置を提供する。【解決手段】搬送される被蒸着体１０に、複数の蒸着ユニット１から薄膜層６を蒸着により順次に積層して有機層１３を形成する有機エレクトロルミネッセンス素子製造装置に関する。各蒸着ユニット１は、薄膜層６を形成するための蒸着材料を放射する蒸着源２と、蒸着源２から放射された蒸着材料を被蒸着体１０に向けて放出する筒状体３とを備える。この筒状体は前記蒸着材料を放出する開口部を有する。この開口部は放出量調整構造により前記蒸着材料の放出量分布を調整可能に形成される。前記複数の蒸着ユニット１は、放出量調整構造５０によって調整された薄膜層６の膜厚分布が凸形状になる凸型分布蒸着ユニット１ａと、放出量調整構造５０によって調整された薄膜層６の膜厚分布が凹形状になる凹型分布蒸着ユニット１ｂとを有する。蒸着により積層される積層体の厚みを均一に近づけて発光輝度をより均一にできる。</p> |
