| 摘要 |
1. Технологическая головка для обработки поверхности лазерной плазмой с наложенным СВЧ полем, содержащая корпус, в котором выполнены технологический канал для ввода лазерного излучения и рабочего газа, тороидальная полость, открытая со стороны нижней плоскости корпуса, в которой размещено средство ввода СВЧ поля, и дроссельная проточка в виде кольцеобразной выемки, открытой со стороны нижней плоскости корпуса и расположенной на расстоянии от края тороидальной полости, равномдлины волны вводимого СВЧ поля, и с глубиной, равнойдлины волны вводимого СВЧ поля, причем ось симметрии дроссельной проточки совпадает с осью симметрии технологического канала.2. Технологическая головка по п. 1, отличающаяся тем, что узел ввода СВЧ поля выполнен в виде поворотной втулки и петли, размещенной в тороидальной полости корпуса и с длиной, равнойдлины волны вводимого СВЧ поля.3. Технологическая головка по п. 1, отличающаяся тем, что ее корпус имеет муфту крепления для связи с механизмом регулировки зазора устройства для обработки поверхности лазерной плазмой с наложенным СВЧ полем.4. Технологическая головка по п. 1, отличающаяся тем, что она имеет поглощающее кольцо, вмонтированное в корпус со стороны его нижней плоскости с частичным перекрытием входа дроссельной проточки.5. Технологическая головка по п. 1, отличающаяся тем, что технологический канал для лазерного излучения и рабочего газа выполнен суженным в направлении от входа к выходу. |
