发明名称 窒化物半導体結晶
摘要
申请公布号 JP5713062(B2) 申请公布日期 2015.05.07
申请号 JP20130152239 申请日期 2013.07.23
申请人 发明人
分类号 C30B29/38;C23C16/34;C30B29/68 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
主权项
地址