| 摘要 |
<p>Vakuumpumpe mit wenigstens einer Turbomolekularpumpstufe, die einen Rotor mit Rotorscheiben und einen Stator mit Statorscheiben aufweist, wobei ein Auslass in axialer Richtung gesehen nach der letzten Rotorscheibe angeordnet und als ein radial nach außen gerichteter, mit einer Vorpumpe verbundener Auslass ausgebildet ist. Vakuumpumpe mit wenigstens einem in einem Gehäuse angeordneten Rotor, der als Hohlzylinder und um seine Längsachse rotierend ausgebildet ist, bei der in dem Hohlzylinder wenigstens ein rohrförmiger Körper angeordnet ist, wobei das wenigstens eine Ende des rohrförmigen Körpers mit einer Öffnung in einem geringeren Abstand zu einer Innenwand des Hohlzylinders als zu der Längsachse angeordnet ist.</p> |
