| 摘要 |
<p>【課題】基板の加熱効率を高めて基板の昇温時間の短縮化を図る。【解決手段】筒状の反応管１００とシールキャップ１１０とで気密に構成される処理室３０と、反応管１００の周囲に設けられたヒータである炉体加熱部２００と、処理室３０内に配置され、かつ複数のガラス基板２０が収容されたカセット４１０と、反応管１００の内部の閉塞された一方の側部に設けられた電動ファン５００と、処理室３０内においてカセット４１０上で立てて配置される複数のガラス基板２０のうちの最外部の位置に配置されるガラス基板２０の表面を覆い、かつ電動ファン５００の羽部５１０に向かう気流Ｑが反応管１００の内周面１００ａに沿って流れるように制御する円筒形の整流板４３０と、を備えた基板処理装置。【選択図】図１</p> |
