基板処理装置及び金属膜のエッチング方法、磁気抵抗効果素子の製造方法

摘要

基板処理装置において消耗した誘電部材を容易に交換可能とするために、誘電体からなる構成部材を挟んでアンテナと対向する位置に設けられたファラデーシールドと、構成部材及びファラデーシールドを挟んでアンテナと対向する位置に設けられた第１の誘電部材と、構成部材とファラデーシールドと第１の誘電部材とを挟んでアンテナと対向する位置に設けられた第２の誘電部材を備え、第２の誘電部材は基板処理装置の真空容器に形成された突出部上に載置されている。